La oxidación es una etapa de la fabricación de chips y consiste en añadir una capa de óxido
sobre la placa silicio (oblea). Se está experimentando con 6 tratamientos para seleccionar el
que proporciona un mayor espesor de óxido en un mismo tiempo de proceso. Una
característica que influye en el espesor es el acabado superficial de la oblea, por lo que se
tomaron 5 tipos distintos de acabado (Ojj). De cada tipo se tomaron 6 obleas y se asignaron
aleatoriamente a los tratamientos. En la tabla se proporciona el espesor obtenido en cada
oblea
T1
T2
T3
T4
T5
T6
O1
85.60
90.90
93.00
80.50
85.20
88.90
O2
89.30
91.5
93.60
83.20
87.80
91.00
O3
84.70
87.50
90.90
81.00
83.20
86.30
O4
87.60
90.50
95.60
84.60
87.60
91.10
O5
87.3
93.10
94.90
82.70
86.70
88.70
a) Especificaciones
b) Ho y H1
c) ANOVA
d) INTERPRETACIÓN
El acabado superficial de la oblea y la fabricación de la oblea, no influyen en el
espesor de oxido
e) COMPARACIÓN MÚLTIPLE, INDICANDO mínimo y máximo
f) Indicar si los efectos son significativos
g) Formule el modelo matemático para este ejemplo, pero ya con los coeficientes que
acompañan a las variables
h) Pronostique el espesor con la oblea 3 y acabado 4.
